پوشش ویژه فیلم محافظ اسپری اولتراسونیک قبل از برش ویفر سیلیکونی

 

 

 

پوشش ویژه فیلم محافظ پاشش اولتراسونیک قبل از برش ویفر سیلیکونی ثابت شده است که یک روش قابل اعتماد، تکرارپذیر و کارآمد برای اعمال مواد شیمیایی مختلف روی سیلیکون قبل از برش، آسیاب و پرداخت برای محافظت از ویفر و برجستگی ها است. مواد شیمیایی رایج عبارتند از Z{1}}روکش، PMMA، و سایر مواد شیمیایی به راحتی قابل جابجایی. سیستم نازل FUNSONIC را می توان برای پاسخگویی به نیازهای پوشش خاص مشتریان و چالش های مربوط به فیلم های محافظ قبل از برش ویفر سیلیکونی سفارشی کرد.
پوشش ویژه فیلم محافظ پاشش اولتراسونیک قبل از برش ویفر سیلیکونی را می توان با کنترل ضخامت از زیر میکرون تا بیش از 100 میکرون در هر شکل یا اندازه ای اعمال کرد. سیستم پوشش یک جایگزین عملی برای سایر فناوری های پوشش مانند پاشش چرخشی و سنتی است.

 

 

 

 

 

نازل های اولتراسونیک کاربردهای مهمی در پردازش فوتولیتوگرافی دارند. تولیدکنندگان نیمه هادی از فناوری پاشش اولتراسونیک برای اسپری کردن سازنده مقاوم نوری بر روی بسترهای تراشه آرسنید سیلیکون و گالیم استفاده می کنند، که یک ماده شیمیایی است که می تواند مدارهای تصویربرداری پله ای نوری را نمایش دهد. فرآیند پاشش شامل قرار دادن نازل در بالای تراشه، و سپس کنترل نازل اولتراسونیک از طریق XYZ سه محور-و موتور سروو برای توزیع یکنواخت پوشش است. از آنجایی که اسپری نازل اولتراسونیک ملایم و مداوم است، می تواند فعالیت شیمیایی را بهبود بخشد، کارایی توسعه را بهبود بخشد و ضایعات مجدد و مواد را کاهش دهد. داده ها نشان می دهد که فناوری پاشش مافوق صوت می تواند تا 70 درصد مواد را ذخیره کند و کنترل ابعاد بحرانی را بهبود بخشد.
در مقایسه با پوشش اسپین معمولی، مزیت نازل های اولتراسونیک این است که می توانند مواد را به طور یکنواخت بیشتری توزیع کنند و وابستگی توزیع مایع به کشش کف را به حداقل برسانند. روکش چرخشی سنتی مستلزم ته نشین شدن مواد به شکل گودال ها یا جویبارها بر روی یک عنصر تراشه است و سپس آنها را از طریق نیروی گریز از مرکز روی زمین پخش می کند. این روش به دستکاری خاصی در دما و شارژ تبخیر حلال نیاز دارد تا از یکپارچگی و یکنواختی پوشش اطمینان حاصل شود. از طرف دیگر، نازل‌های اولتراسونیک پارچه را روی تمام کف تراشه اتمیزه می‌کنند تا یک لایه نازک-بافتاده ایجاد شود. به این ترتیب، نیازی به در نظر گرفتن تبخیر حلال و نیروهای سطحی نیست، و هیچ کندوپاش یا رسوب پشتی وجود نخواهد داشت.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

تگ های محبوب: پوشش ویژه فیلم محافظ اسپری اولتراسونیک قبل از برش ویفر سیلیکون، پوشش ویژه فیلم محافظ پاشش اولتراسونیک چین قبل از تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه برش ویفر سیلیکونی