سیستم پوشش محافظ فیلم محافظت کننده اولتراسونیک قبل از برش ویفر سیلیکون

سیستم پوشش فیلم محافظ اسپری اولتراسونیک قبل از برش ویفر سیلیکون ثابت شده است که یک روش قابل اعتماد ، تکرار شونده و کارآمد برای استفاده از مواد شیمیایی مختلف در سیلیکون قبل از برش ، سنگ زنی و جلا دادن برای محافظت از ویفر و برآمدگی ها است. مواد شیمیایی متداول شامل z-coat ، pmma و سایر مواد شیمیایی به راحتی قابل جابجایی است. سیستم نازل Funsonic می تواند برای برآورده کردن نیازهای پوشش خاص مشتریان و چالش های برش فیلم های محافظ سفارشی شود.

ثابت شده است که سیستم های پاشش اولتراسونیک برای برنامه های مختلفی که نیاز به پوشش مواد یکنواخت و قابل تکرار دارند ، مناسب است. با کنترل ضخامت از زیر میکرون به بیش از 100 میکرون و قادر به پوشیدن هر شکل و اندازه ، سیستم های پوشش جایگزین مناسب برای سایر تکنیک های پوشش مانند چرخشی و سمپاش سنتی هستند.

سیستم پوشش Funsonic دقیقاً می تواند با استفاده از تکنیک های لایه بندی ساده ، سرعت جریان ، سرعت پوشش و میزان رسوب را کنترل کند. قالب اسپری با سرعت کم ، اسپری اتمی را به عنوان یک الگوی دقیق و قابل کنترل تعریف می کند تا از بیش از حد و تولید لایه های بسیار نازک و یکنواخت جلوگیری شود.

مزایای استفاده از فناوری پوشش اولتراسونیک برای فرآیندهای پوشش محافظ ویفر شامل موارد زیر است:

1. پوشش سریع و یکنواخت فیلم از خطوط مختلف سطح.
2. انعطاف پذیری بالا در خواص شیمیایی و پوشش.
3. بدون مسدود کردن اسپری اتمییز.
4. راندمان انتقال بالا با حداقل زباله.
5. فرآیند پاشش بالغ بسیار قابل تکرار.